| В книге описаны технологические процессы формирования диэлектрических и поликристаллических кремниевых пленок на поверхности полупроводниковых пластин и эпитаксиалъного наращивания, приведены режимы обработки, характеристики используемого оборудования, показаны последовательность и особенности выполнения операций, методы контроля параметров процессов и получаемых слоев. |
s.l._nikiforova-denisova_e.l._lyubushkin_-_tehnologiya_poluprovodnikovyh_priborov_i_izdelij.rar
Файл удален