| Работы по получению и изучению пленок проводятся в течение многих лет. Однако, закономерности формирования структуры пленок остаются слабо изученными, что связано с чрезвычайно малыми нанометровыми размерами объекта исследования. В свою очередь объяснение и прогнозирование свойств пленок непосредственно обуславливается не только толщиной, но и структурой последних. |
palatnik_l.s._sorokin_v.k._-_materialovedenie_v_mikroelektronike_-_1978.rar
Файл удален